非晶质硅膜的结晶方法

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专利类型
发明
申请号
CN200410057765.5
申请日
2004-08-17
公开(公告)号
CN1622280A
公开(公告)日
2005-06-01
发明(设计)人
柳明官 李镐年 朴宰徹 金亿洙 孙暻锡 李俊昊 权世烈
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
G02F1136
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
李贵亮;杨梧
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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