物理气相沉积靶材组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080009371.X

申请日：

2020-01-24

公开(公告)号：

CN113330139A

公开(公告)日：

2021-08-31

发明(设计)人：

肖文桑杰·巴特刘树围维布什·金达尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

H01J3734 G03F122 G03F152

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200124
2021-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

靶材组件及物理气相沉积设备 [P].

佘清 .

中国专利 :CN106032565A ,2016-10-19

[2]

物理气相沉积靶 [P].

C·T·吴 ;

W·易 ;

F·B·希登 .

中国专利 :CN101109068B ,2008-01-23

[3]

物理气相沉积设备的靶材单元及物理气相沉积设备 [P].

杨涛 ;

黄云岭 .

中国专利 :CN208594329U ,2019-03-12

[4]

物理气相沉积靶构造 [P].

S·费拉斯 ;

F·阿尔福德 ;

金在衍 ;

S·I·格拉布梅尔 ;

S·D·斯特罗瑟尔斯 ;

A·N·A·雷格 ;

R·M·普拉特 ;

W·H·霍尔特 ;

M·D·佩顿 .

中国专利 :CN1910304A ,2007-02-07

[5]

物理气相沉积的靶结构 [P].

陈秉源 ;

陈宏政 ;

谢志轩 ;

王御轩 .

中国专利 :CN109207940A ,2019-01-15

[6]

物理气相沉积腔室靶材的主体 [P].

大卫·冈瑟 ;

基兰库马尔·N·萨凡迪亚 ;

宋佼 ;

玛丹·K·希莫加迈拉拉帕 ;

崔玥 ;

陈彦竹 ;

吴梦雪 .

美国专利 :CN308886421S ,2024-10-15

[7]

物理气相沉积机台 [P].

王晓 .

中国专利 :CN119433468A ,2025-02-14

[8]

物理气相沉积腔室靶材的中央部 [P].

大卫·冈瑟 ;

基兰库马尔·N·萨凡迪亚 ;

宋佼 ;

玛丹·K·希莫加迈拉拉帕 ;

崔玥 ;

陈彦竹 ;

吴梦雪 .

美国专利 :CN309188882S ,2025-03-21

[9]

物理气相沉积腔室靶材的中央部 [P].

马丁·李·里克 ;

张富宏 ;

M·K·希莫加·迈拉拉帕 .

美国专利 :CN308836571S ,2024-09-13

[10]

物理气相沉积处理系统的靶材冷却 [P].

王伟 ;

卡尔蒂克·萨哈 ;

维希瓦·库马尔·帕迪 .

中国专利 :CN110382733A ,2019-10-25

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