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物理气相沉积设备的靶材单元及物理气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820949251.8
申请日：
2018-06-20
公开(公告)号：
CN208594329U
公开(公告)日：
2019-03-12
发明(设计)人：
杨涛
黄云岭
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
孟金喆
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-14 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/32 变更事项:专利权人 变更前:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 变更后:北京顶荣光伏科技有限公司 变更事项:地址 变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 |
| 2019-03-12 | 授权 | 授权 |
| 2021-05-14 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/32 登记生效日:20210506 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京顶荣光伏科技有限公司 变更后权利人:鸿翌科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 变更后权利人:518054 广东省深圳市海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) |