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晶圆固定装置和晶圆固定方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010802270.X
申请日：
2020-08-11
公开(公告)号：
CN111809222A
公开(公告)日：
2020-10-23
发明(设计)人：
史蒂文·贺·汪
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区隆兴路118号1512室
IPC主分类号：
C25D1706
IPC分类号：
C25D712
C25D502
代理机构：
上海弼兴律师事务所 31283
代理人：
王卫彬;杨东明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-23 | 公开 | 公开 |
| 2020-11-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C25D 17/06 申请日:20200811 |