硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统

被引：0

申请号：

CN202221305645.2

申请日：

2022-05-29

公开(公告)号：

CN217797709U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

马玉水

申请人：

申请人地址：

252800 山东省聊城市高唐县经济技术开发区人和西路中段路北

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B314 B08B1300 H01L2167 B01D2903

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统 [P].

马玉水 .

中国专利 :CN115026050A ,2022-09-09

[2]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

[3]

一种硅片清洗液循环系统 [P].

信广志 ;

冯艳红 ;

韩萍 .

中国专利 :CN210006704U ,2020-01-31

[4]

一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法 [P].

肖剑峰 ;

张晨 ;

吴叶军 ;

周体 .

中国专利 :CN101942365A ,2011-01-12

[5]

硅片清洗液及其清洗方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN101503650A ,2009-08-12

[6]

清洗液循环装置 [P].

全明 .

中国专利 :CN201572800U ,2010-09-08

[7]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[8]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[9]

一种硅片清洗液回收装置 [P].

李培培 ;

赵时红 ;

史彪 ;

鲁立平 ;

胡玖益 ;

杨代权 ;

纪民举 ;

任海江 .

中国专利 :CN223009937U ,2025-06-24

[10]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

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