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等离子喷头及半导体用大气等离子清洗设备
被引：0
申请号：
CN202122151525.3
申请日：
2021-09-07
公开(公告)号：
CN216161704U
公开(公告)日：
2022-04-01
发明(设计)人：
张曹
申请人：
申请人地址：
213161 江苏省常州市武进区常武中路18-67号中国以色列常州创新园10#号厂房7层701-36
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B700
H01J3732
代理机构：
常州市天龙专利事务所有限公司 32105
代理人：
于雅洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-01 | 授权 | 授权 |