浆料组合物以及基材抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480023622.4

申请日：

2014-04-25

公开(公告)号：

CN105308129B

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

北村启增田刚松村义之

申请人：

申请人地址：

日本三重县

IPC主分类号：

C09D500

IPC分类号：

C09D700 C09G100

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

宋莉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C09D 5/00 变更事项:专利权人变更前:日本嘉柏微电子株式会社变更后:CMC材料株式会社变更事项:地址变更前:日本三重县变更后:日本三重县
2016-02-03	公开	公开
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649094383 IPC(主分类):C09D 5/00 专利申请号:2014800236224 申请日:20140425
2018-01-16	授权	授权

共 50 条

[41]

化学机械抛光淤浆组合物以及使用它们的抛光方法 [P].

金兑映 ;

崔炳镐 ;

洪昌基 ;

金亨洙 .

中国专利 :CN102666771A ,2012-09-12

[42]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

沈秀姸 ;

李知虎 ;

李贤玗 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115305010A ,2022-11-08

[43]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

李知虎 ;

李泳基 ;

沈秀姸 ;

李贤玗 ;

李昌锡 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115109519A ,2022-09-27

[44]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

沈秀姸 ;

李知虎 ;

李贤玗 ;

李锺元 .

韩国专利 :CN115305010B ,2024-04-26

[45]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

南沇希 ;

金龙国 ;

沈秀姸 ;

张根三 ;

黄慈英 ;

金廷熙 ;

李贤玗 ;

姜东宪 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115141549A ,2022-10-04

[46]

抛光含钨基材的方法 [P].

罗伯特·瓦卡西 ;

迪内施·卡纳 ;

亚历山大·辛普森 .

中国专利 :CN101600773B ,2009-12-09

[47]

抛光含钨基材的方法 [P].

罗伯特.瓦卡西 ;

迪内施.卡纳 ;

亚历山大.辛普森 .

中国专利 :CN102863902B ,2013-01-09

[48]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

黄珍淑 ;

孔铉九 ;

黄寅卨 .

中国专利 :CN113308197A ,2021-08-27

[49]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

朴尚铉 ;

李晓山 ;

许元己 ;

金廷润 ;

黄晙夏 ;

权昌吉 ;

李性表 .

中国专利 :CN110872473A ,2020-03-10

[50]

用于化学机械抛光的浆料组合物 [P].

文斗植 ;

朴尚铉 ;

尹普彦 ;

金镐永 ;

朴世廷 ;

李载鹤 ;

黄珍明 .

中国专利 :CN108690505A ,2018-10-23

← 1 2 3 4 5 →