清洗装置及涂胶显影机

被引：0

申请号：

CN202122255204.8

申请日：

2021-09-16

公开(公告)号：

CN216150523U

公开(公告)日：

2022-04-01

发明(设计)人：

陈建宇申文帅程志

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B1300 G03F720

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

刘鑫

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-01	授权	授权

共 50 条

[1]

涂胶显影机的涂胶胶体清洗装置 [P].

张明 ;

马杰 .

中国专利 :CN220559605U ,2024-03-08

[2]

一种涂胶显影机台的清洗装置及涂胶显影机台 [P].

李方金 ;

陆舒楠 ;

石磊 .

中国专利 :CN222753875U ,2025-04-15

[3]

涂胶显影机清洗系统 [P].

安礼余 .

中国专利 :CN211488799U ,2020-09-15

[4]

涂胶显影机上盖清洗装置 [P].

顾烨 ;

木建秀 .

中国专利 :CN203437361U ,2014-02-19

[5]

涂胶显影机上盖清洗装置 [P].

顾烨 .

中国专利 :CN205570884U ,2016-09-14

[6]

涂胶显影机清洁装置 [P].

张建峰 ;

蔡奇澄 ;

张书庆 ;

张健 ;

卢健 ;

王军 .

中国专利 :CN201392817Y ,2010-01-27

[7]

涂胶显影机 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN306079389S ,2020-09-29

[8]

涂胶显影机用晶圆升降装置及涂胶显影机 [P].

文龙虎 .

中国专利 :CN115483143A ,2022-12-16

[9]

涂胶显影机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

杨涛 .

中国专利 :CN309071624S ,2025-01-14

[10]

涂胶显影机 [P].

姜天明 ;

张建 ;

郭亚内 .

中国专利 :CN307811822S ,2023-01-24

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