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一种晶圆扩晶装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922165821.1
申请日：
2019-12-06
公开(公告)号：
CN210778500U
公开(公告)日：
2020-06-16
发明(设计)人：
刘子玉
陈勇伶
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区福永街道白石厦新塘工业园4栋3楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京中济纬天专利代理有限公司 11429
代理人：
卢春华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-16 | 授权 | 授权 |
| 2021-11-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191206 授权公告日:20200616 终止日期:20201206 |