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一种用于PERC电池的背面氮化硅开孔方法
被引:0
申请号
:
CN202211263610.1
申请日
:
2022-10-16
公开(公告)号
:
CN115663065A
公开(公告)日
:
2023-01-31
发明(设计)人
:
郭卫
赵科巍
李雪方
吕涛
申请人
:
申请人地址
:
046000 山西省长治市高新区漳泽新型工业园区
IPC主分类号
:
H01L3118
IPC分类号
:
代理机构
:
太原市科瑞达专利代理有限公司 14101
代理人
:
耿联军
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-01-31
公开
公开
2023-02-17
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20221016
共 50 条
[1]
一种用于PERC电池的背面氮化硅开孔方法
[P].
郭卫
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
山西潞安太阳能科技有限责任公司
山西潞安太阳能科技有限责任公司
郭卫
;
赵科巍
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0
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0
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0
机构:
山西潞安太阳能科技有限责任公司
山西潞安太阳能科技有限责任公司
赵科巍
;
李雪方
论文数:
0
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0
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0
机构:
山西潞安太阳能科技有限责任公司
山西潞安太阳能科技有限责任公司
李雪方
;
吕涛
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
山西潞安太阳能科技有限责任公司
山西潞安太阳能科技有限责任公司
吕涛
.
中国专利
:CN115663065B
,2025-10-21
[2]
PERC电池背面氮化硅多层膜的制备方法
[P].
朱露
论文数:
0
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0
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0
朱露
;
孙铁囤
论文数:
0
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0
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0
孙铁囤
;
姚伟忠
论文数:
0
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0
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0
姚伟忠
.
中国专利
:CN107731960A
,2018-02-23
[3]
一种电池背面氮化硅膜层和PERC电池
[P].
朱浩
论文数:
0
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0
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0
朱浩
;
万柳斌
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0
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0
万柳斌
;
吴朋朋
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0
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0
吴朋朋
;
张基勇
论文数:
0
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0
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张基勇
;
蒋柱
论文数:
0
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0
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0
蒋柱
;
方雯
论文数:
0
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0
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0
方雯
.
中国专利
:CN211507647U
,2020-09-15
[4]
一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法
[P].
朱露
论文数:
0
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0
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0
朱露
.
中国专利
:CN107612504A
,2018-01-19
[5]
一种电池背面氮化硅膜层、PERC电池及制备方法
[P].
朱浩
论文数:
0
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0
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
朱浩
;
万柳斌
论文数:
0
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0
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
万柳斌
;
吴朋朋
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
吴朋朋
;
张基勇
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0
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
张基勇
;
蒋柱
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
蒋柱
;
方雯
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机构:
通威太阳能(成都)有限公司
通威太阳能(成都)有限公司
方雯
.
中国专利
:CN111416002B
,2025-07-29
[6]
一种电池背面氮化硅膜层、PERC电池及制备方法
[P].
朱浩
论文数:
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0
朱浩
;
万柳斌
论文数:
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0
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万柳斌
;
吴朋朋
论文数:
0
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0
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吴朋朋
;
张基勇
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0
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0
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张基勇
;
蒋柱
论文数:
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0
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蒋柱
;
方雯
论文数:
0
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0
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0
方雯
.
中国专利
:CN111416002A
,2020-07-14
[7]
氮化硅薄膜的沉积方法、氮化硅薄膜及PERC电池
[P].
许烁烁
论文数:
0
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许烁烁
;
舒勇东
论文数:
0
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0
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舒勇东
;
刘良玉
论文数:
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0
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0
刘良玉
.
中国专利
:CN109735829A
,2019-05-10
[8]
perc电池背面氮化硅多层膜的制备装置
[P].
何飞
论文数:
0
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0
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0
何飞
;
蔡鹏
论文数:
0
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0
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蔡鹏
;
李亚楠
论文数:
0
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0
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0
李亚楠
.
中国专利
:CN216274365U
,2022-04-12
[9]
一种氮化硅陶瓷吹气管开孔方法
[P].
徐叶新
论文数:
0
引用数:
0
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0
徐叶新
.
中国专利
:CN106810266A
,2017-06-09
[10]
用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机
[P].
何飞
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0
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0
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何飞
;
蔡鹏
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0
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0
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蔡鹏
;
李亚楠
论文数:
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李亚楠
.
中国专利
:CN215517627U
,2022-01-14
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