一种用于PERC电池的背面氮化硅开孔方法

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申请号
CN202211263610.1
申请日
2022-10-16
公开(公告)号
CN115663065A
公开(公告)日
2023-01-31
发明(设计)人
郭卫 赵科巍 李雪方 吕涛
申请人
申请人地址
046000 山西省长治市高新区漳泽新型工业园区
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
太原市科瑞达专利代理有限公司 14101
代理人
耿联军
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于PERC电池的背面氮化硅开孔方法 [P]. 
郭卫 ;
赵科巍 ;
李雪方 ;
吕涛 .
中国专利 :CN115663065B ,2025-10-21
[2]
PERC电池背面氮化硅多层膜的制备方法 [P]. 
朱露 ;
孙铁囤 ;
姚伟忠 .
中国专利 :CN107731960A ,2018-02-23
[3]
一种电池背面氮化硅膜层和PERC电池 [P]. 
朱浩 ;
万柳斌 ;
吴朋朋 ;
张基勇 ;
蒋柱 ;
方雯 .
中国专利 :CN211507647U ,2020-09-15
[4]
一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法 [P]. 
朱露 .
中国专利 :CN107612504A ,2018-01-19
[5]
一种电池背面氮化硅膜层、PERC电池及制备方法 [P]. 
朱浩 ;
万柳斌 ;
吴朋朋 ;
张基勇 ;
蒋柱 ;
方雯 .
中国专利 :CN111416002B ,2025-07-29
[6]
一种电池背面氮化硅膜层、PERC电池及制备方法 [P]. 
朱浩 ;
万柳斌 ;
吴朋朋 ;
张基勇 ;
蒋柱 ;
方雯 .
中国专利 :CN111416002A ,2020-07-14
[7]
氮化硅薄膜的沉积方法、氮化硅薄膜及PERC电池 [P]. 
许烁烁 ;
舒勇东 ;
刘良玉 .
中国专利 :CN109735829A ,2019-05-10
[8]
perc电池背面氮化硅多层膜的制备装置 [P]. 
何飞 ;
蔡鹏 ;
李亚楠 .
中国专利 :CN216274365U ,2022-04-12
[9]
一种氮化硅陶瓷吹气管开孔方法 [P]. 
徐叶新 .
中国专利 :CN106810266A ,2017-06-09
[10]
用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机 [P]. 
何飞 ;
蔡鹏 ;
李亚楠 .
中国专利 :CN215517627U ,2022-01-14