一种锐角金属图形制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710141342.9

申请日：

2017-03-10

公开(公告)号：

CN106653580B

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

陈一峰

申请人：

申请人地址：

610029 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联网产业园内

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720 H01L2102

代理机构：

成都华风专利事务所(普通合伙) 51223

代理人：

徐丰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724569699 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2017101413429 申请日:20170310
2019-03-26	授权	授权
2017-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种锐角金属图形剥离方法 [P].

陈一峰 .

中国专利 :CN106876253A ,2017-06-20

[2]

一种自对准双重图形制作方法 [P].

邱岩栈 ;

陈颖儒 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN113782419B ,2025-03-18

[3]

一种自对准双重图形制作方法 [P].

邱岩栈 ;

陈颖儒 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN113782419A ,2021-12-10

[4]

光刻胶台阶图形制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108121156A ,2018-06-05

[5]

基于多重曝光的图形制作方法 [P].

毛晓明 ;

毛智彪 ;

杨正凯 ;

陈晓强 .

中国专利 :CN105137725A ,2015-12-09

[6]

三维电极图形制作方法 [P].

林丙涛 .

中国专利 :CN103407959A ,2013-11-27

[7]

一种多功能组合型纳米图形制作方法 [P].

张勇辉 ;

魏同波 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN104355287A ,2015-02-18

[8]

一种密集金属图形的制作方法 [P].

许箭 ;

王亮乾 ;

郭旭东 ;

李嫕 ;

杨国强 .

中国专利 :CN117438300A ,2024-01-23

[9]

一种金属栅的制作方法 [P].

王新鹏 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102969231A ,2013-03-13

[10]

一种纳米线宽金属图形的制作方法 [P].

彭炜 ;

吴止竞 ;

刘晓宇 .

中国专利 :CN117976522A ,2024-05-03

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