一种多功能组合型纳米图形制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410658845.X

申请日：

2014-11-18

公开(公告)号：

CN104355287A

公开(公告)日：

2015-02-18

发明(设计)人：

张勇辉魏同波王军喜李晋闽

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

宋焰琴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602349323 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:201410658845X 申请日:20141118
2015-02-18	公开	公开
2016-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种锐角金属图形制作方法 [P].

陈一峰 .

中国专利 :CN106653580B ,2017-05-10

[2]

一种自对准双重图形制作方法 [P].

邱岩栈 ;

陈颖儒 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN113782419B ,2025-03-18

[3]

一种自对准双重图形制作方法 [P].

邱岩栈 ;

陈颖儒 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN113782419A ,2021-12-10

[4]

光刻胶台阶图形制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108121156A ,2018-06-05

[5]

基于多重曝光的图形制作方法 [P].

毛晓明 ;

毛智彪 ;

杨正凯 ;

陈晓强 .

中国专利 :CN105137725A ,2015-12-09

[6]

三维电极图形制作方法 [P].

林丙涛 .

中国专利 :CN103407959A ,2013-11-27

[7]

一种纳米图形底衬的制作方法 [P].

周雅慧 ;

郭明灿 ;

郭文平 ;

许南发 .

中国专利 :CN104393122A ,2015-03-04

[8]

一种纳米结构的图形转移制作方法 [P].

马志波 ;

姜澄宇 ;

苑伟政 .

中国专利 :CN102323716A ,2012-01-18

[9]

一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法 [P].

杜成孝 ;

魏同波 ;

吴奎 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN103545173A ,2014-01-29

[10]

纳米T型栅的制作方法 [P].

张立森 ;

邢东 ;

王俊龙 ;

梁士雄 ;

杨大宝 ;

冯志红 .

中国专利 :CN105118774B ,2015-12-02

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