一种纳米图形底衬的制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410615131.0
申请日
2014-11-05
公开(公告)号
CN104393122A
公开(公告)日
2015-03-04
发明(设计)人
周雅慧 郭明灿 郭文平 许南发
申请人
申请人地址
261031 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区玉清东街12401
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
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