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柱形晶体管及其制造方法、半导体器件及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110422036.9
申请日：
2021-04-20
公开(公告)号：
CN113506737A
公开(公告)日：
2021-10-15
发明(设计)人：
华文宇
王喜龙
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路129号天通9号楼5楼
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L27108
H01L2978
H01L218242
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
胡亮;张颖玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20210420 |