氮化镓衬底以及氮化镓衬底测试及制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710088106.1

申请日：

2007-03-15

公开(公告)号：

CN100580909C

公开(公告)日：

2007-09-19

发明(设计)人：

八乡昭广

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市中央区北浜四丁目5番33号

IPC主分类号：

H01L2300

IPC分类号：

H01L2166 H01L2130 H01L21304 H01L2100

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

林宇清;谢丽娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-19	公开	公开
2012-05-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101250116930 IPC(主分类):H01L 23/00 专利号:ZL2007100881061 申请日:20070315 授权公告日:20100113 终止日期:20110315
2009-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

氮化镓衬底 [P].

木山诚 ;

弘田龙 ;

中畑成二 .

中国专利 :CN106536794B ,2017-03-22

[2]

氮化镓衬底 [P].

木山诚 ;

弘田龙 ;

中畑成二 .

中国专利 :CN106574398B ,2017-04-19

[3]

氮化镓衬底 [P].

八乡昭广 .

中国专利 :CN102031564A ,2011-04-27

[4]

氮化镓衬底 [P].

木山诚 ;

弘田龙 ;

中畑成二 .

中国专利 :CN110042471B ,2019-07-23

[5]

氮化镓衬底、氮化镓单晶层及其制造方法 [P].

张林 ;

魏曙亮 .

中国专利 :CN114892264A ,2022-08-12

[6]

氮化镓衬底、氮化镓单晶层及其制造方法 [P].

张林 ;

魏曙亮 .

中国专利 :CN115233309B ,2024-01-12

[7]

氮化镓衬底、氮化镓单晶层及其制造方法 [P].

张林 ;

魏曙亮 .

中国专利 :CN114892264B ,2024-03-05

[8]

同质外延氮化镓衬底处理方法及氮化镓衬底 [P].

王元刚 ;

冯志红 ;

吕元杰 ;

张志荣 ;

周幸叶 ;

谭鑫 ;

宋旭波 ;

梁士雄 .

中国专利 :CN110797259B ,2020-02-14

[9]

氮化镓衬底材料制造方法 [P].

张汝京 .

中国专利 :CN102280533A ,2011-12-14

[10]

制造氮化镓衬底的方法 [P].

金美贤 ;

姜三默 ;

金峻渊 ;

卓泳助 ;

朴永洙 .

中国专利 :CN107978659A ,2018-05-01

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