晶圆承载盘和外延设备

被引：0

申请号：

CN202221016978.3

申请日：

2022-04-28

公开(公告)号：

CN217822688U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

许昊张丽旸程凯

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢517-A室

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2167 C30B2512 C30B2516

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

秦卫中

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150A ,2025-07-04

[2]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150B ,2025-08-15

[3]

用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘 [P].

郑锦坚 ;

寻飞林 ;

邓和清 ;

李志明 ;

杜伟华 ;

伍明跃 ;

周启伦 ;

林峰 ;

李水清 ;

康俊勇 .

中国专利 :CN104409402B ,2015-03-11

[4]

用于外延生长的晶圆承载盘及其使用方法 [P].

吴芃逸 ;

周韧林 .

中国专利 :CN119753829A ,2025-04-04

[5]

一种外延晶圆的制造方法和外延晶圆 [P].

王华杰 ;

曹共柏 ;

林志鑫 .

中国专利 :CN112002639A ,2020-11-27

[6]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092229U ,2016-03-16

[7]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092230U ,2016-03-16

[8]

晶圆承载装置及晶圆清洗设备 [P].

程龙跃 ;

张晓燕 ;

徐融 .

中国专利 :CN118486636A ,2024-08-13

[9]

承载装置、晶圆花篮及晶圆清洗设备 [P].

刘福生 ;

初国超 .

中国专利 :CN110335841B ,2019-10-15

[10]

晶圆及其制备方法、晶圆的制造设备、外延片和器件 [P].

许庭翔 ;

王乐星 ;

刘嵩 ;

黄维 ;

刘涛 .

中国专利 :CN120413580A ,2025-08-01

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