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嵌入式外延层的形成方法
被引：0
申请号：
CN202210959790.0
申请日：
2022-08-11
公开(公告)号：
CN115527858A
公开(公告)日：
2022-12-27
发明(设计)人：
陈亚旭
李刚
曹坚
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
戴广志
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20220811 |
| 2022-12-27 | 公开 | 公开 |