提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201020548394.1
申请日
2010-09-29
公开(公告)号
CN201801596U
公开(公告)日
2011-04-20
发明(设计)人
何伟
申请人
申请人地址
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
IPC主分类号
C23F108
IPC分类号
H01L3118
代理机构
常州市维益专利事务所 32211
代理人
王凌霄
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P]. 
丁向前 ;
刘晓伟 ;
刘耀 ;
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[2]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
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[3]
太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板 [P]. 
孟利萍 .
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[4]
湿法刻蚀设备 [P]. 
薛大鹏 .
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[5]
湿法刻蚀设备 [P]. 
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[6]
湿法刻蚀设备 [P]. 
干怀渝 ;
迟世兴 ;
赵嘉 ;
杜清龙 .
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[7]
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[9]
一种链式湿法刻蚀设备 [P]. 
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[10]
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王鹏涛 ;
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