膜厚测量方法及膜厚测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480074364.2

申请日：

2014-10-24

公开(公告)号：

CN105940282A

公开(公告)日：

2016-09-14

发明(设计)人：

大塚贤一中野哲寿

申请人：

申请人地址：

日本，静冈县

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01N2127 H01L2166

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-14	公开	公开
2019-03-05	授权	授权
2016-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101683103770 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2014800743642 申请日:20141024

共 50 条

[1]

膜厚测量装置以及膜厚测量方法 [P].

川口史朗 ;

中嶋一八 .

中国专利 :CN112781506A ,2021-05-11

[2]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

高濑惠宏 ;

中西英俊 ;

木濑一夫 ;

河野元宏 ;

川山巌 ;

斗内政吉 .

中国专利 :CN108027236A ,2018-05-11

[3]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120344818A ,2025-07-18

[4]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

年婷 .

中国专利 :CN108120409B ,2018-06-05

[5]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120303531A ,2025-07-11

[6]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451A ,2022-06-24

[7]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451B ,2025-01-28

[8]

膜厚测量装置和膜厚测量方法 [P].

张建楠 ;

封宾 ;

袁剑峰 .

中国专利 :CN103994740A ,2014-08-20

[9]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31

[10]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431B ,2025-11-04

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