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膜厚测量装置以及膜厚测量方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011235816.4
申请日：
2020-11-06
公开(公告)号：
CN112781506A
公开(公告)日：
2021-05-11
发明(设计)人：
川口史朗 中嶋一八
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
向勇;宋晓宝
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-05-11 公开 公开
2022-09-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20201106
共 50 条
[1]
膜厚测量方法及膜厚测量装置 [P]. 
大塚贤一 ;
中野哲寿 .
中国专利 :CN105940282A ,2016-09-14
[2]
膜厚测量装置以及测量方法 [P]. 
大塚贤一 ;
中野哲寿 ;
渡边元之 .
中国专利 :CN102341670B ,2012-02-01
[3]
在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法 [P]. 
刘振新 ;
黄周师 ;
吴毛兵 ;
屈新成 ;
何坤鹏 .
中国专利 :CN116904954B ,2025-07-29
[4]
膜厚测量装置和膜厚测量方法 [P]. 
张建楠 ;
封宾 ;
袁剑峰 .
中国专利 :CN103994740A ,2014-08-20
[5]
膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P]. 
高濑惠宏 ;
中西英俊 ;
木濑一夫 ;
河野元宏 ;
川山巌 ;
斗内政吉 .
中国专利 :CN108027236A ,2018-05-11
[6]
膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P]. 
大冢贤一 ;
增冈英树 ;
井口和也 .
日本专利 :CN120344818A ,2025-07-18
[7]
膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P]. 
田帅飞 ;
陶泽 ;
杨康 .
中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31
[8]
膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P]. 
田帅飞 ;
陶泽 ;
杨康 .
中国专利 :CN119230431B ,2025-11-04
[9]
膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P]. 
年婷 .
中国专利 :CN108120409B ,2018-06-05
[10]
膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P]. 
大冢贤一 ;
增冈英树 ;
井口和也 .
日本专利 :CN120303531A ,2025-07-11
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