膜厚测量装置及膜厚测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680054552.8

申请日：

2016-06-24

公开(公告)号：

CN108027236A

公开(公告)日：

2018-05-11

发明(设计)人：

高濑惠宏中西英俊木濑一夫河野元宏川山巌斗内政吉

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01B1502

IPC分类号：

G01B1106

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

向勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/02 申请日:20160624
2018-05-11	公开	公开
2019-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120344818A ,2025-07-18

[2]

膜厚测量方法及膜厚测量装置 [P].

大塚贤一 ;

中野哲寿 .

中国专利 :CN105940282A ,2016-09-14

[3]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

年婷 .

中国专利 :CN108120409B ,2018-06-05

[4]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120303531A ,2025-07-11

[5]

膜厚测量装置和膜厚测量方法 [P].

张建楠 ;

封宾 ;

袁剑峰 .

中国专利 :CN103994740A ,2014-08-20

[6]

膜厚测量装置以及膜厚测量方法 [P].

川口史朗 ;

中嶋一八 .

中国专利 :CN112781506A ,2021-05-11

[7]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31

[8]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431B ,2025-11-04

[9]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451A ,2022-06-24

[10]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451B ,2025-01-28

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