膜厚测量装置及膜厚测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380083472.5

申请日：

2023-09-01

公开(公告)号：

CN120303531A

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

大冢贤一增冈英树井口和也

申请人：

浜松光子学株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦;陈明霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	公开	公开
2025-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20230901

共 50 条

[1]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

大冢贤一 ;

增冈英树 ;

井口和也 .

日本专利 :CN120344818A ,2025-07-18

[2]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

高濑惠宏 ;

中西英俊 ;

木濑一夫 ;

河野元宏 ;

川山巌 ;

斗内政吉 .

中国专利 :CN108027236A ,2018-05-11

[3]

膜厚测量方法及膜厚测量装置 [P].

大塚贤一 ;

中野哲寿 .

中国专利 :CN105940282A ,2016-09-14

[4]

膜厚测量装置及膜厚测量方法 [P].

年婷 .

中国专利 :CN108120409B ,2018-06-05

[5]

膜厚测量装置和膜厚测量方法 [P].

张建楠 ;

封宾 ;

袁剑峰 .

中国专利 :CN103994740A ,2014-08-20

[6]

膜厚测量装置以及膜厚测量方法 [P].

川口史朗 ;

中嶋一八 .

中国专利 :CN112781506A ,2021-05-11

[7]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431A ,2024-12-31

[8]

膜厚测量方法、膜厚测量系统 [P].

田帅飞 ;

陶泽 ;

杨康 .

中国专利 :CN119230431B ,2025-11-04

[9]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451A ,2022-06-24

[10]

膜厚测量方法及测量装置 [P].

邓罗泉 ;

唐旱波 ;

刘尧平 ;

肖川 ;

陈全胜 ;

陈伟 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114659451B ,2025-01-28

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