用于单面湿法刻蚀的手持夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010710198.8

申请日：

2020-07-22

公开(公告)号：

CN112071800A

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

李德钊严勇林强

申请人：

申请人地址：

310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

B25B1100

代理机构：

杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240

代理人：

朱亚冠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20200722
2020-12-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于单面湿法刻蚀的手持夹具 [P].

李德钊 ;

严勇 ;

林强 .

中国专利 :CN112071800B ,2024-03-22

[2]

一种用于单面湿法刻蚀的手持夹具 [P].

李德钊 ;

严勇 ;

林强 .

中国专利 :CN212907691U ,2021-04-06

[3]

用于湿法刻蚀工艺的夹具和湿法刻蚀装置 [P].

孟亚明 ;

顾金辉 ;

徐青青 .

中国专利 :CN217239430U ,2022-08-19

[4]

一种湿法刻蚀单面基板的装置 [P].

包文中 ;

郭晓娇 ;

胡荣民 ;

周鹏 ;

张卫 .

中国专利 :CN110993528A ,2020-04-10

[5]

一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

李君 ;

张静平 ;

游晓英 .

中国专利 :CN107591348A ,2018-01-16

[6]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[7]

湿法刻蚀器件和湿法刻蚀机 [P].

刘峻承 ;

涂智超 ;

黄于维 .

中国专利 :CN204596768U ,2015-08-26

[8]

湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10

[9]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[10]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

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