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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-03-27 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/075 申请日:20090306 授权公告日:20130327 终止日期:20200306 |
| 2011-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2016-05-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732765795 IPC(主分类):G03F 7/075 专利号:ZL2009801082519 登记生效日:20160504 变更事项:专利权人 变更前权利人:旭化成电子材料株式会社 变更后权利人:旭化成株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |
| 2011-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059289360 IPC(主分类):G03F 7/075 专利申请号:2009801082519 申请日:20090306 |