一种透明导电氧化物薄膜的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210136712.7
申请日
2012-05-04
公开(公告)号
CN102646759B
公开(公告)日
2012-08-22
发明(设计)人
徐东 徐永 任昌义
申请人
申请人地址
518103 广东省深圳市宝安区福永街道桥头富桥第三工业区二期C2、A19栋
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
深圳中一专利商标事务所 44237
代理人
张全文
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[21]
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