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一种半导体检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620020936.5
申请日：
2016-01-12
公开(公告)号：
CN205333836U
公开(公告)日：
2016-06-22
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
402560 重庆市铜梁县巴街道办事处北环路川9号2幢4-1
IPC主分类号：
G01R3307
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-06-22 | 授权 | 授权 |
| 2018-03-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 33/07 申请日:20160112 授权公告日:20160622 终止日期:20170112 |