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一种半导体检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022917250.5
申请日：
2020-12-08
公开(公告)号：
CN213825985U
公开(公告)日：
2021-07-30
发明(设计)人：
赵强
张静
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新区旺庄路178号(宝龙城市广场)8楼812室
IPC主分类号：
B07C5344
IPC分类号：
B07C502
B07C536
B07C538
代理机构：
南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350
代理人：
王俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-30 | 授权 | 授权 |