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一种半导体检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022454585.8
申请日：
2020-10-29
公开(公告)号：
CN213516929U
公开(公告)日：
2021-06-22
发明(设计)人：
罗建华
申请人：
申请人地址：
518107 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402
IPC主分类号：
G01N2195
IPC分类号：
G01N2188
代理机构：
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人：
朱阳波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-22 | 授权 | 授权 |