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一种晶圆曝光机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910790896.0
申请日：
2019-08-26
公开(公告)号：
CN110554578A
公开(公告)日：
2019-12-10
发明(设计)人：
邵金元
申请人：
申请人地址：
362700 福建省泉州市石狮市凤里街道镇中路凤凰城10#2505
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-10 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190826 |