一种晶圆曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411571782.4

申请日：

2024-11-05

公开(公告)号：

CN120386147A

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

锐立平芯微电子（广州）有限责任公司

申请人地址：

510700 广东省广州市黄埔区萝岗街道至泰广场A6栋13层

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

张靖琳

法律状态：

公开

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	公开	公开
2025-08-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241105

共 50 条

[1]

晶圆曝光机及晶圆曝光方法 [P].

童立峰 ;

戴韫青 ;

王剑 .

中国专利 :CN111929994A ,2020-11-13

[2]

一种晶圆曝光机 [P].

何海洋 ;

胡健峰 ;

彭强 .

中国专利 :CN210721014U ,2020-06-09

[3]

一种晶圆曝光机 [P].

邵金元 .

中国专利 :CN110554578A ,2019-12-10

[4]

晶圆曝光机 [P].

桑林 ;

苗文佳 .

中国专利 :CN110320757A ,2019-10-11

[5]

晶圆曝光机 [P].

林宪维 ;

张登富 ;

林澍 .

中国专利 :CN220381448U ,2024-01-23

[6]

晶圆曝光机 [P].

桑林 ;

苗文佳 .

中国专利 :CN208207505U ,2018-12-07

[7]

一种晶圆曝光夹具及曝光装置 [P].

冯永 ;

胡仲波 ;

冯艾诚 ;

李健儿 ;

蒋红全 ;

周建余 .

中国专利 :CN115547915A ,2022-12-30

[8]

晶圆曝光机及其无接触的晶圆曝光机的平整方法 [P].

林宪维 ;

张登富 ;

林澍 .

中国专利 :CN119310800A ,2025-01-14

[9]

一种双工位晶圆曝光机台 [P].

许子轩 .

中国专利 :CN223229851U ,2025-08-15

[10]

一种浸润式曝光扫描载台装置及晶圆曝光方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110895384A ,2020-03-20

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