多层膜用蚀刻液组合物、蚀刻方法及阵列基板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711286762.2

申请日：

2017-12-07

公开(公告)号：

CN108220963A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

刘仁浩金范洙南基龙

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

C23F116

IPC分类号：

C23F120 C23F126 C23F118 H01L213213

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金鲜英;宋海花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	授权	授权
2018-06-29	公开	公开
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/16 申请日:20171207

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物、蚀刻方法及阵列基板的制造方法 [P].

刘仁浩 ;

金范洙 ;

南基龙 .

中国专利 :CN108070376A ,2018-05-25

[2]

蚀刻液组合物、显示装置用阵列基板的制法及阵列基板 [P].

鞠仁说 ;

尹暎晋 ;

李钟文 .

中国专利 :CN108570679A ,2018-09-25

[3]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

鬼头佑典 ;

渊上真一郎 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106460197A ,2017-02-22

[4]

显示装置用阵列基板制造方法、蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

梁圭亨 ;

金童基 ;

金炼卓 ;

权五柄 .

中国专利 :CN106467969A ,2017-03-01

[5]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[6]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

小佐野善秀 ;

渊上真一郎 .

中国专利 :CN105765107A ,2016-07-13

[7]

金属膜蚀刻液组合物 [P].

刘仁浩 ;

朴英哲 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107447217A ,2017-12-08

[8]

显示基板的制造方法及铜系金属膜用蚀刻液组合物 [P].

刘仁浩 ;

金宝衡 ;

南基龙 .

中国专利 :CN106995920A ,2017-08-01

[9]

蚀刻液组合物、显示装置用阵列基板及其制造方法 [P].

刘仁浩 ;

金宝衡 ;

南基龙 .

中国专利 :CN107316836A ,2017-11-03

[10]

蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法和显示装置的制造方法 [P].

全重翼 ;

印致成 ;

李美顺 ;

申铉亿 ;

裴俊佑 .

中国专利 :CN106795633A ,2017-05-31

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