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蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法和显示装置的制造方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201580054917.2
申请日
:
2015-10-07
公开(公告)号
:
CN106795633A
公开(公告)日
:
2017-05-31
发明(设计)人
:
全重翼
印致成
李美顺
申铉亿
裴俊佑
申请人
:
申请人地址
:
韩国忠清南道
IPC主分类号
:
C23F116
IPC分类号
:
C23F130
C23F120
代理机构
:
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
:
龙淳;尹明花
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-06-23
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729319725 IPC(主分类):C23F 1/16 专利申请号:2015800549172 申请日:20151007
2017-05-31
公开
公开
2021-02-05
授权
授权
共 50 条
[1]
显示装置用阵列基板制造方法、蚀刻液组合物及蚀刻方法
[P].
梁圭亨
论文数:
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0
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梁圭亨
;
金童基
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金童基
;
金炼卓
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金炼卓
;
权五柄
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权五柄
.
中国专利
:CN106467969A
,2017-03-01
[2]
蚀刻液组合物、蚀刻方法和基体的制造方法
[P].
野口裕太
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机构:
株式会社ADEKA
株式会社ADEKA
野口裕太
;
缝田祐介
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机构:
株式会社ADEKA
株式会社ADEKA
缝田祐介
.
日本专利
:CN120981606A
,2025-11-18
[3]
多层膜用蚀刻液组合物、蚀刻方法及阵列基板的制造方法
[P].
刘仁浩
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刘仁浩
;
金范洙
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金范洙
;
南基龙
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南基龙
.
中国专利
:CN108220963A
,2018-06-29
[4]
多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液以及蚀刻方法
[P].
白滨祐二
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白滨祐二
;
着能真
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着能真
.
中国专利
:CN111094627B
,2020-05-01
[5]
蚀刻液组合物和蚀刻方法
[P].
石崎隼郎
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石崎隼郎
;
大宫大辅
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大宫大辅
.
中国专利
:CN104233299B
,2014-12-24
[6]
蚀刻液组合物及蚀刻方法
[P].
勇谦司
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勇谦司
;
木村真弓
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木村真弓
;
田湖次广
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田湖次广
.
中国专利
:CN103125017B
,2013-05-29
[7]
蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法
[P].
吴豪旭
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吴豪旭
.
中国专利
:CN111074278A
,2020-04-28
[8]
蚀刻液组合物及利用其的显示装置的制造方法
[P].
朴种熙
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朴种熙
;
金炯式
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金炯式
;
李相赫
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李相赫
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金龙会
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金龙会
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金荣光
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金荣光
;
姜东浒
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姜东浒
;
申贤哲
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申贤哲
;
金成太
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金成太
;
李东勋
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李东勋
;
李民惠
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李民惠
;
李秉洙
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李秉洙
;
郑棊水
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郑棊水
.
中国专利
:CN115404482A
,2022-11-29
[9]
多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法
[P].
着能真
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着能真
;
渊上真一郎
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渊上真一郎
.
中国专利
:CN107690488A
,2018-02-13
[10]
多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液及蚀刻方法
[P].
着能真
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着能真
;
鬼头佑典
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鬼头佑典
;
渊上真一郎
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渊上真一郎
;
小佐野善秀
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小佐野善秀
.
中国专利
:CN106460197A
,2017-02-22
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