蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法和显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580054917.2

申请日：

2015-10-07

公开(公告)号：

CN106795633A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

全重翼印致成李美顺申铉亿裴俊佑

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

C23F116

IPC分类号：

C23F130 C23F120

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;尹明花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729319725 IPC(主分类):C23F 1/16 专利申请号:2015800549172 申请日:20151007
2017-05-31	公开	公开
2021-02-05	授权	授权

共 50 条

[21]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[22]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

正元祐次 ;

斋尾佳秀 ;

青木珠美 .

中国专利 :CN108352318A ,2018-07-31

[23]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

松井笃史 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103782373A ,2014-05-07

[24]

金属膜蚀刻液组合物及显示装置用阵列基板的制造方法 [P].

梁圭亨 ;

金童基 ;

金兑勇 .

中国专利 :CN107630219B ,2018-01-26

[25]

蚀刻液、该蚀刻液的制造方法和使用该蚀刻液的蚀刻方法 [P].

河野良 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN103132078A ,2013-06-05

[26]

包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 ;

鬼头佑典 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106255777A ,2016-12-21

[27]

蚀刻液组合物、显示装置用阵列基板及其制造方法 [P].

刘仁浩 ;

金宝衡 ;

南基龙 .

中国专利 :CN107316836A ,2017-11-03

[28]

蚀刻液组合物、显示装置用阵列基板及其制造方法 [P].

金童基 ;

权五柄 ;

金镇成 ;

梁圭亨 ;

金炼卓 .

中国专利 :CN106835138A ,2017-06-13

[29]

用于树脂组合物的蚀刻液和蚀刻方法 [P].

丰田裕二 ;

田边昌大 .

中国专利 :CN110461920A ,2019-11-15

[30]

蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法 [P].

廖本男 ;

廖伯轩 ;

张善钧 ;

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN105887089B ,2016-08-24

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