一种半导体晶圆划片机

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810532880.5
申请日
2018-05-29
公开(公告)号
CN108705690B
公开(公告)日
2018-10-26
发明(设计)人
李涵 潘万胜
申请人
申请人地址
312500 浙江省绍兴市新昌县羽林街道大明市村下街13号
IPC主分类号
B28D500
IPC分类号
B28D704 H01L21683 H01L2167
代理机构
绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285
代理人
胡国平
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体晶圆划片机 [P]. 
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[4]
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[7]
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[10]
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