一种三维MEMS传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810558988.1

申请日：

2018-06-01

公开(公告)号：

CN108896216A

公开(公告)日：

2018-11-27

发明(设计)人：

张毅薛世峰李琳贾朋叶贵根朱秀星

申请人：

申请人地址：

266580 山东省青岛市经济技术开发区长江西路66号

IPC主分类号：

G01L118

IPC分类号：

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

张瑾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-27	公开	公开
2018-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/18 申请日:20180601
2020-04-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L 1/18 申请公布日:20181127

共 50 条

[1]

一种MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

张毅 ;

薛世峰 ;

李琳 ;

贾朋 ;

叶贵根 ;

朱秀星 .

中国专利 :CN108731858A ,2018-11-02

[2]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26

[3]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883B ,2025-02-25

[4]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07

[5]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

张春伟 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15

[6]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

[7]

一种MEMS传感器及其制作方法 [P].

苏云鹏 ;

姜萍 ;

金羊华 ;

储莉玲 .

中国专利 :CN118183608A ,2024-06-14

[8]

一种MEMS传感器及其制作方法 [P].

苏云鹏 ;

姜萍 ;

金羊华 ;

储莉玲 .

中国专利 :CN118206069A ,2024-06-18

[9]

环境MEMS传感器三维柔性基板封装结构及制作方法 [P].

孙鹏 ;

徐健 ;

王宏杰 .

中国专利 :CN103523739A ,2014-01-22

[10]

一种三维阵列式磁触觉传感器及其制作方法 [P].

赵新刚 ;

张道辉 ;

许乃佳 ;

韩佰松 ;

傅昕 .

中国专利 :CN119618450A ,2025-03-14

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