一种MEMS传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410362455.1

申请日：

2024-03-27

公开(公告)号：

CN118206069A

公开(公告)日：

2024-06-18

发明(设计)人：

苏云鹏姜萍金羊华储莉玲

申请人：

美新半导体（绍兴）有限公司美新半导体（天津）有限公司

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号1幢3楼305室

IPC主分类号：

B81B7/00

IPC分类号：

B81B7/02 B81C1/00 G01P15/125

代理机构：

苏州简理知识产权代理有限公司 32371

代理人：

庞聪雅

法律状态：

公开

国省代码：

天津市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-18	公开	公开
2024-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/00申请日:20240327

共 50 条

[1]

一种MEMS传感器及其制作方法 [P].

苏云鹏 ;

姜萍 ;

金羊华 ;

储莉玲 .

中国专利 :CN118183608A ,2024-06-14

[2]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26

[3]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883B ,2025-02-25

[4]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07

[5]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

张春伟 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15

[6]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

[7]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20

[8]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23

[9]

MEMS传感器的制作方法 [P].

柏杨 ;

张睿 .

中国专利 :CN112551480A ,2021-03-26

[10]

MEMS压力传感器及其制作方法 [P].

郑超 ;

许继辉 ;

于佳 .

中国专利 :CN104949776A ,2015-09-30

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