采用用于离子注入系统的变角度狭槽阵列的离子束角度测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680048644.1

申请日：

2006-12-20

公开(公告)号：

CN101421815A

公开(公告)日：

2009-04-29

发明(设计)人：

布莱恩·弗瑞尔

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王新华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-29	公开	公开
2010-11-03	授权	授权
2009-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

用于离子注入系统的离子束角度测量系统和方法 [P].

布赖恩·弗瑞尔 ;

亚历山大·普瑞尔 .

中国专利 :CN101361160A ,2009-02-04

[2]

离子注入角度测量装置及离子注入系统 [P].

王锦喆 .

中国专利 :CN204230207U ,2015-03-25

[3]

用于离子注入系统的离子束入射角度检测器 [P].

R·里斯 ;

M·格拉夫 ;

T·帕里尔 ;

B·弗里尔 .

中国专利 :CN1771579A ,2006-05-10

[4]

用于在具有束减速的离子注入器中进行束角度调整的系统和方法 [P].

伯·范德伯格 ;

爱德华·艾伊斯勒 .

中国专利 :CN107094371A ,2017-08-25

[5]

用于离子注入剂量和均匀性控制的离子束测量系统及方法 [P].

K·佩特里 ;

J·费拉拉 ;

K·贝克 .

中国专利 :CN101040365A ,2007-09-19

[6]

用于离子注入机的离子束测量导向装置 [P].

许飞 ;

陈立峰 ;

逄锦涛 ;

张进创 .

中国专利 :CN203434124U ,2014-02-12

[7]

垂直离子束角度实时测量系统和方法 [P].

苏文华 ;

曹炜 ;

吴炎森 .

中国专利 :CN115132574A ,2022-09-30

[8]

垂直离子束角度实时测量系统和方法 [P].

苏文华 ;

曹炜 ;

吴炎森 .

中国专利 :CN115132574B ,2025-04-25

[9]

用于改进离子注入均匀性的离子束扫描系统和方法 [P].

B·范德贝里 ;

A·雷 ;

K·温策尔 .

中国专利 :CN101002294A ,2007-07-18

[10]

离子注入方法及离子注入系统 [P].

艾义明 .

中国专利 :CN111162003B ,2020-05-15

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