自对准沟槽的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980135752.6

申请日：

2009-08-14

公开(公告)号：

CN102150253A

公开(公告)日：

2011-08-10

发明(设计)人：

沃纳·云林理查德·莱恩

申请人：

申请人地址：

美国爱达荷州

IPC主分类号：

H01L2176

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

宋献涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	授权	授权
2011-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101109945861 IPC(主分类):H01L 21/76 专利申请号:2009801357526 申请日:20090814
2011-08-10	公开	公开

共 50 条

[1]

自对准沟槽的形成方法 [P].

沃纳·云林 ;

理查德·莱恩 .

中国专利 :CN103400794B ,2013-11-20

[2]

一种自对准沟槽的形成方法 [P].

杨军 .

中国专利 :CN110349906A ,2019-10-18

[3]

一种自对准沟槽的形成方法 [P].

杨军 .

中国专利 :CN113488430A ,2021-10-08

[4]

自对准双层图形的形成方法 [P].

徐灵芝 ;

张志刚 ;

陆神洲 .

中国专利 :CN110459465B ,2019-11-15

[5]

自对准接触窗形成方法 [P].

郑培仁 .

中国专利 :CN1303651C ,2005-01-26

[6]

沟槽的形成方法 [P].

崔基雄 ;

高建峰 ;

孔真真 ;

刘卫兵 ;

王桂磊 .

中国专利 :CN115084002A ,2022-09-20

[7]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101587837A ,2009-11-25

[8]

沟槽的形成方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN103377991B ,2013-10-30

[9]

沟槽的形成方法 [P].

杨芸 ;

洪中山 .

中国专利 :CN101599419B ,2009-12-09

[10]

沟槽的形成方法 [P].

李凡 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102214567B ,2011-10-12

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