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等离子体处理方法及等离子体灰化装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210252672.2
申请日：
2012-07-20
公开(公告)号：
CN102891061A
公开(公告)日：
2013-01-23
发明(设计)人：
工藤丰
桧山真
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
王永红
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-23 | 公开 | 公开 |
| 2015-11-04 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101723241605 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012102526722 申请公布日:20130123 |
| 2013-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101405721776 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012102526722 申请日:20120720 |