硅基压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510571202.6

申请日：

2015-09-09

公开(公告)号：

CN105181187A

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

李颖张治国刘剑张哲郑东明梁峭张娜祝永峰于子涵

申请人：

申请人地址：

110043 辽宁省沈阳市大东区北海街242号

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

代理机构：

沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234

代理人：

崔红梅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	公开	公开
2018-07-10	授权	授权
2016-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643354000 IPC(主分类):G01L 1/14 专利申请号:2015105712026 申请日:20150909

共 50 条

[21]

压力传感器及其制造方法 [P].

曾田誉 .

中国专利 :CN1281140A ,2001-01-24

[22]

压力传感器及其制造方法 [P].

李刚 ;

刘迪 ;

胡维 ;

吕萍 .

中国专利 :CN109809355B ,2025-02-28

[23]

压力传感器及其制造方法 [P].

聂泳忠 .

中国专利 :CN110044537A ,2019-07-23

[24]

压力传感器及其制造方法 [P].

何羽轩 ;

蔡明志 ;

谢明宏 .

中国专利 :CN108469318A ,2018-08-31

[25]

压力传感器及其制造方法 [P].

汤姆·科瓦 .

中国专利 :CN105527042B ,2016-04-27

[26]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

余伦宙 ;

熊娟 ;

赵怿 .

中国专利 :CN112880884A ,2021-06-01

[27]

压力传感器及其制造方法 [P].

李刚 ;

吕萍 ;

胡维 .

中国专利 :CN108362408A ,2018-08-03

[28]

压力传感器及其制造方法 [P].

小林千哲 ;

鹫见大辅 ;

稻村弘 ;

森藤东吾 ;

吉田公二 ;

远藤正树 ;

日浦清 ;

山内隆夫 ;

山浦俊介 ;

武田黛 ;

永见公彦 .

中国专利 :CN1643358A ,2005-07-20

[29]

压力传感器及其制造方法 [P].

德田智久 ;

东條博史 .

中国专利 :CN101960276B ,2011-01-26

[30]

压力传感器及其制造方法 [P].

何羽轩 ;

蔡明志 ;

谢明宏 .

中国专利 :CN108344532A ,2018-07-31

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