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真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810060399.0
申请日：
2018-01-22
公开(公告)号：
CN109930119A
公开(公告)日：
2019-06-25
发明(设计)人：
陈自新
朱海锋
郑立冬
李伟
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-102
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
张欢勇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180122 |
| 2019-06-25 | 公开 | 公开 |