大尺寸碳化硅单晶板的制备装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811336079.X

申请日：

2018-11-12

公开(公告)号：

CN109097833A

公开(公告)日：

2018-12-28

发明(设计)人：

王书杰孟静

申请人：

申请人地址：

050000 河北省石家庄市裕华区槐北路416号40栋3单元602号

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B912

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-28	公开	公开
2019-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20181112
2022-01-07	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C30B 29/36 申请公布日:20181228

共 50 条

[1]

大尺寸碳化硅单晶板的制备方法 [P].

王书杰 ;

孟静 .

中国专利 :CN109112615A ,2019-01-01

[2]

大尺寸碳化硅单晶板冷却装置 [P].

刘燕枝 ;

黄荣章 ;

骆卫钦 ;

陈秀珍 .

中国专利 :CN109972208A ,2019-07-05

[3]

大尺寸碳化硅单晶生长装置 [P].

刘熙 ;

严成峰 ;

忻隽 ;

孔海宽 ;

肖兵 ;

杨建华 ;

施尔畏 .

中国专利 :CN103173863A ,2013-06-26

[4]

碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN110331437B ,2019-10-15

[5]

碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN110359087B ,2019-10-22

[6]

一种碳化硅单晶的制备方法和碳化硅单晶 [P].

刘源 ;

梁刚强 ;

况家仪 ;

钱昊 ;

苏奕霖 ;

陈雅薇 .

中国专利 :CN118932487A ,2024-11-12

[7]

一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

康俊勇 ;

尹君 ;

檀鹏 ;

康闻宇 .

中国专利 :CN114411254B ,2024-11-12

[8]

一种大尺寸碳化硅单晶的生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

高冰 ;

王博 .

中国专利 :CN120425457A ,2025-08-05

[9]

一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

康俊勇 ;

尹君 ;

檀鹏 ;

康闻宇 .

中国专利 :CN114411254A ,2022-04-29

[10]

一种大尺寸碳化硅单晶的生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

高冰 ;

王博 .

中国专利 :CN120425457B ,2025-10-21

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