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大尺寸碳化硅单晶板的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811336091.0
申请日：
2018-11-12
公开(公告)号：
CN109112615A
公开(公告)日：
2019-01-01
发明(设计)人：
王书杰
孟静
申请人：
申请人地址：
050000 河北省石家庄市裕华区槐北路416号40栋3单元602号
IPC主分类号：
C30B1534
IPC分类号：
C30B2936
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/34 申请日:20181112 |
| 2019-01-01 | 公开 | 公开 |