一种用于晶圆背面的液体防护结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020037133.7

申请日：

2020-01-08

公开(公告)号：

CN211088224U

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

丁杰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区龙岗同乐宝龙工业城南同大道9号3栋三楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

深圳市新虹光知识产权代理事务所(普通合伙) 44499

代理人：

郭长龙

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆背面的金属化结构 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN212062396U ,2020-12-01

[2]

一种用于晶圆背面的薄化装置 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN214411126U ,2021-10-15

[3]

一种用于检测晶圆背面的形貌的检测设备 [P].

罗肖飞 .

中国专利 :CN208872266U ,2019-05-17

[4]

一种晶圆背面打标机 [P].

刘涛 ;

梁家浒 ;

钟少兴 .

中国专利 :CN221158988U ,2024-06-18

[5]

一种晶圆背面减薄的结构 [P].

李江华 ;

孙效中 ;

汤为 .

中国专利 :CN212570927U ,2021-02-19

[6]

一种晶圆刻蚀设备的晶圆背面防污染结构 [P].

郭生华 ;

李博 ;

孙俊主 ;

龚明 .

中国专利 :CN222106621U ,2024-12-03

[7]

一种晶圆背面磨床的搬运手 [P].

吴张琪 ;

陶施家 ;

沈鑫佳 ;

吴酉 ;

徐海刚 .

中国专利 :CN213917720U ,2021-08-10

[8]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

张飘 ;

范小军 ;

张峰 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN222999217U ,2025-06-20

[9]

一种晶圆背面吸附装置 [P].

关巍 ;

陈超科 ;

湛思 ;

陈春任 ;

郤能 ;

刘泽 .

中国专利 :CN220306237U ,2024-01-05

[10]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

李林 ;

吴宣 .

中国专利 :CN218471901U ,2023-02-10

← 1 2 3 4 5 →