一种化学机械抛光用过滤装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201920260121.8
申请日
2019-03-01
公开(公告)号
CN209612358U
公开(公告)日
2019-11-12
发明(设计)人
张泽芳 彭诗月
申请人
申请人地址
201802 上海市嘉定区南翔镇顺达路938号5楼506室
IPC主分类号
B01D2935
IPC分类号
B01D6100 B24B5702
代理机构
南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288
代理人
苗建
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种化学机械抛光用配料桶 [P]. 
王含冠 ;
梁庆瑞 ;
张红岩 .
中国专利 :CN203650260U ,2014-06-18
[2]
化学机械抛光用浆料 [P]. 
崔银美 ;
申东穆 ;
曹升范 .
中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11
[3]
一种化学机械抛光设备的分级过滤装置 [P]. 
章建群 ;
汪选合 ;
章慧云 .
中国专利 :CN209364398U ,2019-09-10
[4]
一种化学机械抛光装置及化学机械抛光设备 [P]. 
刘永进 .
中国专利 :CN117564929A ,2024-02-20
[5]
一种化学机械抛光用样品抓取装置 [P]. 
蔡村 ;
李爽 ;
丁阳 ;
黄志平 .
中国专利 :CN218082790U ,2022-12-20
[6]
一种化学机械抛光用输料装置 [P]. 
陈妍婧 .
中国专利 :CN222903654U ,2025-05-27
[7]
化学机械抛光用的游星轮 [P]. 
黄荣燕 .
中国专利 :CN206464976U ,2017-09-05
[8]
一种化学机械抛光用保持环 [P]. 
尹影 ;
刘晓亮 ;
庞浩 .
中国专利 :CN113276018B ,2021-08-20
[9]
化学机械抛光用运载器安全装置 [P]. 
陈威 ;
柳滨 ;
李伟 ;
郭强生 .
中国专利 :CN201573109U ,2010-09-08
[10]
一种化学机械抛光用保持环 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
侯娟华 .
中国专利 :CN215847582U ,2022-02-18