一种化学机械抛光用样品抓取装置

被引：0

申请号：

CN202222650310.0

申请日：

2022-10-09

公开(公告)号：

CN218082790U

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

蔡村李爽丁阳黄志平

申请人：

申请人地址：

100000 北京市大兴区北京经济技术开发区(大兴)长恒路20号院5号楼1层101

IPC主分类号：

B25J1800

IPC分类号：

B25J1508

代理机构：

北京新中汇知识产权代理事务所(普通合伙) 16069

代理人：

文信家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械抛光用浆料 [P].

崔银美 ;

申东穆 ;

曹升范 .

中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11

[2]

一种化学机械抛光用输料装置 [P].

陈妍婧 .

中国专利 :CN222903654U ,2025-05-27

[3]

化学机械抛光用的游星轮 [P].

黄荣燕 .

中国专利 :CN206464976U ,2017-09-05

[4]

一种化学机械抛光用配料桶 [P].

王含冠 ;

梁庆瑞 ;

张红岩 .

中国专利 :CN203650260U ,2014-06-18

[5]

化学机械抛光用运载器安全装置 [P].

陈威 ;

柳滨 ;

李伟 ;

郭强生 .

中国专利 :CN201573109U ,2010-09-08

[6]

一种化学机械抛光用过滤装置 [P].

张泽芳 ;

彭诗月 .

中国专利 :CN209612358U ,2019-11-12

[7]

一种化学机械抛光用保持环 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN215847582U ,2022-02-18

[8]

一种化学机械抛光用液 [P].

赵明贵 .

中国专利 :CN104371548A ,2015-02-25

[9]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[10]

化学机械抛光装置 [P].

张海龙 ;

靳爱军 ;

王红艳 .

中国专利 :CN204277741U ,2015-04-22

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