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一种喷淋板装置及其半导体设备
被引：0
申请号：
CN202211124813.2
申请日：
2022-09-15
公开(公告)号：
CN115527831A
公开(公告)日：
2022-12-27
发明(设计)人：
刘振
吴凤丽
魏薇
王婷
申请人：
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
安卫静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20220915 |