一种III族氮化物衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710030646.8

申请日：

2017-01-17

公开(公告)号：

CN106835268A

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

王峰

申请人：

申请人地址：

215221 江苏省苏州市吴江区平望镇西塘街黄洋墩6幢101-1室

IPC主分类号：

C30B2518

IPC分类号：

C30B2902 C30B2938 C30B2940 H01L2102

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人：

范晴;丁浩秋

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 25/18 申请公布日:20170613
2017-06-13	公开	公开
2017-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731988546 IPC(主分类):C30B 25/18 专利申请号:2017100306468 申请日:20170117

共 50 条

[1]

III族氮化物衬底 [P].

王明月 ;

王建峰 ;

徐科 .

中国专利 :CN204905260U ,2015-12-23

[2]

III族氮化物衬底及其制备方法 [P].

王明月 ;

王建峰 ;

徐科 ;

陈吉湖 .

中国专利 :CN106711023A ,2017-05-24

[3]

第III族氮化物衬底的制造方法及第 III 族氮化物衬底 [P].

北村寿朗 ;

柴田真佐知 ;

吉田丈洋 .

中国专利 :CN107978509A ,2018-05-01

[4]

III族氮化物衬底以及制备工艺 [P].

王明月 ;

王建峰 ;

徐科 .

中国专利 :CN105097893A ,2015-11-25

[5]

III族氮化物衬底及其制备方法 [P].

王建峰 ;

徐科 ;

张育民 ;

王明月 ;

任国强 ;

徐俞 .

中国专利 :CN106783579A ,2017-05-31

[6]

III族氮化物复合衬底 [P].

佐藤一成 ;

吉田浩章 ;

山本喜之 ;

八乡昭广 ;

松原秀树 .

中国专利 :CN102906857A ,2013-01-30

[7]

III族氮化物复合衬底及其制造方法、层叠的III族氮化物复合衬底、III族氮化物半导体器件及其制造方法 [P].

木山诚 ;

石桥惠二 ;

八乡昭广 ;

松本直树 ;

中西文毅 .

中国专利 :CN104781907B ,2015-07-15

[8]

III族氮化物复合衬底及其制造方法，层叠的III族氮化物复合衬底，以及III族氮化物半导体器件及其制造方法 [P].

石桥惠二 ;

柳泽拓弥 ;

上松康二 ;

关裕纪 ;

山本喜之 .

中国专利 :CN104995713A ,2015-10-21

[9]

III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法 [P].

森勇介 ;

吉村政志 ;

今西正幸 ;

北本启 ;

隅智亮 ;

泷野淳一 ;

冈山芳央 .

中国专利 :CN113802185A ,2021-12-17

[10]

III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法 [P].

森勇介 ;

吉村政志 ;

今西正幸 ;

北本启 ;

隅智亮 ;

泷野淳一 ;

冈山芳央 .

中国专利 :CN113808926A ,2021-12-17

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