III族氮化物衬底以及制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510368025.1

申请日：

2015-06-26

公开(公告)号：

CN105097893A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

王明月王建峰徐科

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市独墅湖高教区若水路398号

IPC主分类号：

H01L2906

IPC分类号：

H01L2920 H01L2102

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638517268 IPC(主分类):H01L 29/06 专利申请号:2015103680251 申请日:20150626
2015-11-25	公开	公开
2019-03-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 29/06 申请公布日:20151125

共 50 条

[1]

III族氮化物衬底 [P].

王明月 ;

王建峰 ;

徐科 .

中国专利 :CN204905260U ,2015-12-23

[2]

III族氮化物衬底及其制备方法 [P].

王明月 ;

王建峰 ;

徐科 ;

陈吉湖 .

中国专利 :CN106711023A ,2017-05-24

[3]

III族氮化物衬底及其制备方法 [P].

王建峰 ;

徐科 ;

张育民 ;

王明月 ;

任国强 ;

徐俞 .

中国专利 :CN106783579A ,2017-05-31

[4]

III族氮化物复合衬底 [P].

佐藤一成 ;

吉田浩章 ;

山本喜之 ;

八乡昭广 ;

松原秀树 .

中国专利 :CN102906857A ,2013-01-30

[5]

第III族氮化物衬底的制造方法及第 III 族氮化物衬底 [P].

北村寿朗 ;

柴田真佐知 ;

吉田丈洋 .

中国专利 :CN107978509A ,2018-05-01

[6]

III族氮化物复合衬底及其制造方法，层叠的III族氮化物复合衬底，以及III族氮化物半导体器件及其制造方法 [P].

石桥惠二 ;

柳泽拓弥 ;

上松康二 ;

关裕纪 ;

山本喜之 .

中国专利 :CN104995713A ,2015-10-21

[7]

III族氮化物器件以及制备基于III族氮化物的器件的方法 [P].

A·比尔纳 ;

H·布雷希 ;

J·特怀南 .

中国专利 :CN113571573A ,2021-10-29

[8]

一种III族氮化物衬底的制备方法 [P].

王峰 .

中国专利 :CN106835268A ,2017-06-13

[9]

III族氮化物基板以及III族氮化物结晶的制造方法 [P].

冈山芳央 .

中国专利 :CN107230737B ,2019-03-08

[10]

III族氮化物晶体、其制造方法以及III族氮化物晶体衬底及半导体器件 [P].

佐佐木孝友 ;

森勇介 ;

吉村政志 ;

川村史朗 ;

中畑成二 ;

弘田龙 .

中国专利 :CN1965112B ,2007-05-16

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