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一种半导体级硅单晶炉的排气装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011282707.8
申请日：
2020-11-16
公开(公告)号：
CN112410874B
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
曹玉宝
李岩
李丹
马东兴
张丹
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号：
C30B2906
IPC分类号：
C30B3500
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-13 | 授权 | 授权 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20201116 |